氧化鋁靶材采用真空熱壓燒結(jié)與氣氛燒結(jié)工藝，得到氧化鋁靶坯，然后對(duì)氧化鋁靶坯進(jìn)行機(jī)加工而制得。旋轉(zhuǎn)靶通常綁定在背管上使用，平面靶建議綁定在銅背板上使用，尺寸可根據(jù)客戶(hù)要求定制 。


純度：99.99%。
應(yīng)用領(lǐng)域：機(jī)械設(shè)備、光學(xué)領(lǐng)域、微電子領(lǐng)域、半導(dǎo)體。


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